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晶圆AOI自动检测
产品特色
产品特色：
晶圆正背面可同时检测；
AI视觉算法支持自动学习；
检测速度：6000(die)/h;
自动视别起始点位；
支持双系统配置，后台人工做抽检；
高精度XYθ调整平台;
易操作人机界面；
载具支持6、8、12寸规格；
超高清1000万相素CCD；
可检测的项目类别：
图开异常
切割崩边
FRM 台阶损伤
外来脏污
水平连接
划痕不良
发光条损伤
垂直连接
裂痕不良
底部不良
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